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IFS2407高精度传感器

用于高精度距离、粗糙度和厚度测量的光谱共焦传感器

confocalDT IFS2407传感器设计用于距离、粗糙度和厚度的高精度测量。这些光谱共焦色度传感器具有数值孔径大、光斑直径小、测量角度大的特点,因此也可用于粗糙度测量。此外,这些传感器还具有纳米级的精确度。

confocalDT IFS2407-0,1

  • 测量范围(毫米):0.1
  • 线性度:最大值 0.05 µm
  • 分辨率:最大3 nm
  • 距离和粗糙度测量的理想选择
  • 适用于高速工艺的光密集型传感器可选(NA 0.7)
  • 小测量点尺寸:3 µm
  • 高灵敏度和大测量角度
  • 可对5µm的透明物体进行厚度测量

 

 

confocalDT IFS2407-0,8

  • 测量范围(毫米):0.8
  • 线性度:最大值 0.2 µm
  • 分辨率:最大24 nm
  • 小光斑
  • 节省空间的传感器设计
  • 即使在曲面上也能进行精确的距离测量
  • 薄层厚度测量的理想选择 

 

 

confocalDT IFS2407-1,5

  • 测量范围 (mm) 1.5
  • 5.5 µm的极小测量点
  • 测量角度 ± 43°
  • 高光强型号(NA > 0.7)
  • 对曲面和镜面进行高精度测量
  • 对结构化表面进行稳定测量

confocalDT IFS2407-3

  • 测量范围(毫米):3
  • 线性度:最大值0.5 µm
  • 分辨率:最大13 nm
  • 大偏移距离28毫米
  • 最大测量角度±30°
  • 非常适合于曲面和反射面的测量

 

 

confocalDT IFS2407/90-0,3

  • 测量范围(毫米):0.3
  • 线性度:最大值0.15 µm
  • 分辨率:最大6nm
  • 位移和粗糙度测量的理想选择
  • 小测量点尺寸:6µm
  • 高灵敏度和大测量角度
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