用于亚微米级稳定厚度测量的白光干涉仪
新型IMS5400-TH白光干涉仪为工业厚度测量开辟了新的前景。该控制器提供智能评估功能，能够以最高精度测量透明物体的厚度。
不同测量距离下的稳定厚度测量
IMS5400-TH白光干涉仪用于从相对较远的距离进行高精度厚度测量。其决定性优势在于测量不受距离影响，即使是移动物体也能获得纳米级的精确厚度值。厚度测量范围大，可以测量薄层、平板玻璃和薄膜。由于白光干涉仪在近红外范围内与SLED一起工作，因此还可以测量防反射涂层玻璃的厚度。
多层厚度测量
采用多峰值控制器，可以同时评估多个信号峰值。这允许对透明物体和夹层玻璃进行多层厚度测量。无论其位置如何，控制器都能输出稳定性最高的厚度值。
工业环境的理想选择
坚固的传感器和金属外壳中的控制器使该系统非常适合集成到生产线中。控制器可以通过DIN导轨安装在控制柜中，并通过主动温度补偿和被动冷却提供非常稳定的测量结果。这些结构紧凑的传感器非常节省空间，并配有高度灵活的光纤电缆。电缆长度可达 10 米，可实现传感器和控制器的空间隔离。使用集成的先导激光器可以轻松快速地对准传感器。调试和参数设置可通过web界面方便地执行，不需要安装任何软件。
用于高要求测量任务的众多型号
| 型号 | 测量范围 / 量程起点 |
线性度 | 可测量层数 | 应用领域 |
|---|---|---|---|---|
| IMS5400-TH45 | 0.035... 1.5 毫米 (对于 BK7, n=1.5) / 约41.5 毫米，工作范围约 7 毫米 |
±100 nm | 1 层 | 工业在线厚度测量 例如，在平板玻璃生产中的单层玻璃 |
| IMS5400-TH45/VAC | 在无尘室和真空环境中进行在线厚度测量，例如在显示器生产中进行真空间隙测量 | |||
| IMS5400MP-TH45 | ±100 nm | 多达５层 | 工业在线多层测量 例如，在平板玻璃生产中进行多层玻璃测量 |
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| IMS5400MP-TH45/VAC | 在无尘室环境中进行在线多层测量，例如，在显示器生产中进行真空多层测量 | |||
| IMS5400-TH70 | 0.035... 1.5 毫米 (对于 BK7, n=1.5) / 约 68 毫米，工作范围约 4.2 毫米 |
±200 nm | 1层 | 工业在线厚度测量，例如单层薄膜生产中的厚度测量 |
| IMS5400MP-TH70 | ±200 nm | 多达５层 | 工业在线多层测量 例如在多层薄膜生产中 |
接口和信号处理单元
集成到机器和系统中的现代接口
该控制器提供集成接口，如以太网、EtherCAT和RS422，以及额外的编码器连接、模拟输出、同步输入和数字I/o。当您使用Micro-Epsilon的接口模块时，PROFINET和EthernetIP都是可用的。这使得干涉仪可以集成到所有控制系统和生产程序中。
