用于亚纳米级绝对距离测量的白光干涉仪
新型白光干涉仪IMS5600-DS用于最高精度的距离测量。该控制器提供智能评估的特殊校准，并实现亚纳米分辨率的绝对测量。干涉仪用于具有最高精度要求的测量任务，例如电子和半导体生产。
大测量范围和偏移距离的绝对距离测量
IMS5600-DS用于高精度位移和距离测量。该系统提供绝对测量值，因此也可用于台阶轮廓的距离测量。由于采用了绝对测量，步进采样具有高信号稳定性。因此，当测量移动物体时，可以可靠地检测脚跟、台阶和凹陷的高度差异。该测量系统提供亚纳米分辨率，偏移距离相对于测量范围较大。
多峰测距
通过对透明物体进行多峰距离测量，可以同时评估多达14个距离值。例如，可以确定玻璃和载板之间的距离。此外，控制器可以根据距离值计算玻璃厚度。
专为真空中的高分辨率距离测量而设计
IMS5600-DS干涉仪可用于真空环境和洁净室中的测量任务，其分辨率可达亚纳米范围。对于真空应用，Micro-Epsilon提供特殊的传感器、电缆和馈通附件。这些传感器和电缆高度无颗粒，可用于洁净室到UHV环境。
不同表面的测量
干涉测量法可在多个表面上进行测量。因此可以对反射金属、塑料和玻璃进行高精度距离测量。
新产品： 带90° 光束路径的传感器
该传感器体积小巧，可集成到受限空间内。尤其是 90° 光束路径的型号，所需的安装空间更小。
用于高要求测量任务的众多型号
| 型号 | 测量范围/ 量程起点 |
线性度 | 可测量层数 | 应用领域 |
|---|---|---|---|---|
| IMS5600-DS19 | 2.1毫米/约19毫米 | ±10nm | - | 工业过程中的高精度距离测量，例如在精密制造中 |
| IMS5600-DS19/VAC | 洁净室环境和真空中的精确定位任务和距离测量，例如在显示器生产中用于掩模定位 | |||
| IMS5600MP-DS19 | 距离测量： 2.1毫米/约19毫米 厚度测量： 0.01...1.3毫米（对于BK7，n=1.5）/约19毫米 |
第一个距离为±10nm 每进一步距离为±100nm |
最多13层 | 工业过程中的高精度距离和厚度测量，例如半导体生产中用于确定晶片或LED制造中的层厚 |
| IMS5600MP-DS19/VAC | 洁净室环境和真空中的高精度距离和厚度测量，例如在半导体生产中，用于测量掩模和晶片上的位置和间隙尺寸 |
接口和信号处理单元
集成到机器和系统中的现代接口
该控制器提供集成接口，如以太网、EtherCAT和RS422，以及额外的编码器连接、模拟输出、同步输入和数字I/o。当您使用Micro-Epsilon的接口模块时，PROFINET和EthernetIP都是可用的。这使得干涉仪可以集成到所有控制系统和生产程序中。
