用于纳米级绝对距离测量的白光干涉仪
新型IMS5400-DS白光干涉仪为工业距离测量开辟了新的前景。该控制器具有智能评估功能，能够在相对较大的偏移距离下进行纳米精度的绝对测量。与其他绝对测量光学系统相比，IMS5400-DS 在精度、测量范围和偏移距离方面都具有无可比拟的优势。
纳米分辨率的绝对距离测量
IMS5400-DS用于高精度位移和距离测量。与传统干涉仪不同，IMS5400-DS 还能稳定地测量台阶轮廓。由于采用了绝对测量，台阶扫描具有很高的信号稳定性和精度。因此，当测量移动物体时，可以可靠地检测脚跟、台阶和凹陷的高度差异。
多峰测距
通过对透明物体进行多峰距离测量，可以同时评估多达14个距离值。例如，可以确定玻璃和载板之间的距离。此外，控制器可以根据距离值计算玻璃厚度。
用于最小细节和结构的小光斑
传感器在整个测量范围内产生一个小光斑。光斑直径仅为10µm ，可检测半导体结构和小型化电子元件等微小细节。
测量多个表面
干涉测量法可在多个表面上进行测量。因此可以对反射金属、塑料和玻璃进行高精度距离测量。
新产品： 带90° 光束路径的传感器
该传感器体积小巧，可集成到受限空间内。尤其是 90° 光束路径的型号，所需的安装空间更小。
用于高要求测量任务的众多型号
| 型号 | 测量范围/ 量程起点 |
线性度 | 可测量层数 |
应用领域 |
|---|---|---|---|---|
| IMS5400-DS19 | 2.1毫米/约19毫米 | ±50nm | - | 工业距离测量，如精密制造领域 |
| IMS5400-DS19/VAC | 洁净室环境和真空中的精确定位任务和距离测量，例如显示器生产中的掩模定位 | |||
| IMS5400MP-DS19 | 距离测量： 2.1毫米/约19毫米 厚度测量： 0.01...1.3毫米（对于BK7，n=1.5）/约19毫米 |
第一个距离为±50nm 每进一步距离为 ±±150 nm |
最多13层 | 工业距离和厚度测量，例如在平板玻璃生产中 |
| IMS5400MP-DS19/VAC | 在洁净室环境和真空中进行精确的距离和厚度测量，例如显示器生产中进行距离和间隙测量 |
接口和信号处理单元
集成到机器和系统中的现代接口
该控制器提供集成接口，如以太网、EtherCAT和RS422，以及额外的编码器连接、模拟输出、同步输入和数字I/o。当您使用Micro-Epsilon的接口模块时，PROFINET和EthernetIP都是可用的。这使得干涉仪可以集成到所有控制系统和生产程序中。
