新产品
联系我们
下载

confocalLINE


树立三维计量新标杆 —— 高精度,高速度

超高分辨率,捕捉细微结构与高度差

轮廓与三维点云 SMART 智能分析

线光谱共焦位移传感器,实现高精度快速 3D 扫描

全新 confocalLINE 传感器可实现高测点密度、高速高精度扫描。传感器可对多种类型表面进行可靠测量,为半导体生产、电子制造及精密工程领域的高要求测量任务提供精准三维数据。凭借内置 SMART 分析功能与新一代现场总线接口,复杂的测量与检测任务可在传感器端直接完成,具备高速、稳定、超高精度的特点。

logo

特点

  1. 高精度扫描,每条轮廓含 2624 个测点
  2. 适用于多种表面,信号稳定性优异
  3. 微米级精度,可靠检测微小细节
  4. 传感器结构紧凑,内置数据处理单元
  5. 2D 轮廓测量与 3D 几何测量
  6. 可通过现场总线及 Modbus (UDP/TCP) 直接输出测量数据
[]
联系我们
联系表格
Your request for: {product}
* 必填字段
我们将对您的数据保密。请阅读我们的数据隐私声明。

超大测量范围,极致测点密度

线光谱共焦传感器沿 X 轴采集轮廓,线长可达 7 mm。每组轮廓包含 2624 个测量点,可输出高分辨率二维轮廓数据与高精度三维点云,测量稳定可靠,且基本不受被测表面特性影响。基于线式采集的特性,完成全幅扫描的速度远高于传统单点传感器。

超高精度,捕捉微末细节

confocalLINE 传感器横向分辨率可达 2.7 µm,Z 轴分辨率 200 nm,能够以最高精度识别极细微结构与高度差。凭借超高精度,即便微小被测物也可稳定检出并完成分析评估,非常适合对精度有极致要求的测量场景。

同级别最小扫描仪:结构紧凑,内置 SMART 分析功能

confocalLINE CLI8500 凭借紧凑的设计树立全新标杆。该传感器无需外接控制器,也无需工业计算机(IPC),即便在狭小安装空间内也易于集成,无需配备控制柜。SMART 版本可在传感器内部直接执行测量程序,并将测量结果输出至 PLC。

高精度测量创新技术

confocalLINE 传感器采用光谱共焦测量原理:白光经由特殊光学元件分解为不同光谱色,并以线光束投射至被测物体。光谱中每一波长对应固定距离。传感器根据反射光,计算出每个测点到被测表面的距离。单线包含 2624 个测量点,可生成高分辨率高度轮廓。将连续采集的轮廓进行拼接,即可构建三维点云。凭借该特性,传感器能够以极高的精度与测量速度检测表面形貌、边缘、台阶及缝隙,并可在传感器内部直接完成数据分析评估。针对透明与半透明材料,传感器还可识别多个界面,例如用于测量材料厚度。

功能强大的软件,用于参数配置与应用方案

3DInspect 软件支持简便的参数设置,可便捷创建 2D 和 3D 测量程序。直观的用户界面能够快速、轻松完成测量序列配置。通过内置自动化接口,创建好的测量程序可直接存储在扫描仪内,实现 SMART 自主运行。无需额外控制单元,即可完成自动化测量。

简易传感器配置

  • 点云对齐与滤波处理
  • 直观识别并选取目标区域
  • Valid3D:采用真实三维点云,而非 2.5D 评估

强大程序,支持 SMART 自主运行

  • 提供 80 余种测量程序,用于计算所需测量值
  • 可组合多个程序,应对复杂测量任务
  • 将测量程序下发至扫描仪,实现 SMART 自主运行

查看 3DInspect 软件

丰富接口,便于快速集成

应用领域

下载

Catalogs and data sheets