用于高精度距离测量的电容传感器
德国米铱的电容传感器，在位移、距离、间隙及厚度测量领域具备极高精度。多样化的结构设计实现了优化的集成，并以其出色的线性度、温度稳定性和分辨率令人印象深刻。
圆柱形标准传感器
CSx 和 CS‑x 系列电容传感器为圆柱形位移传感器，通过周向夹持或点位夹持的方式安装。CS‑x 型号在最佳夹持位置设有较宽的壳体，便于实现简单、可重复的安装。得益于集成式插座，这些传感器易于插拔，并可搭配不同的传感器线缆使用。
特点
- 测量范围（mm）：0.05 | 0.2 | 0.25 | 0.5 | 0.8 | 1 | 2 | 3 | 5 | 10
- 线性度：0.125 µm
- 分辨率: 0.015 nm
- 温度范围：-50 ... +200 °C
- 被测目标直径：Ø 3 mm
- 优异的温度稳定性
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超紧凑型圆柱形传感器
CSE 系列电容传感器为圆柱形位移传感器，在相同测量量程下，结构比标准 CSx 与 CS‑x 系列更为紧凑，特别适用于安装空间狭小的场景。传感器采用周向夹持或点位夹持方式安装。根据测量范围的不同，传感器可选用插拔式接口或集成线缆式设计。
特点
- 测量范围 (mm): 0.1 | 0.25 | 0.5 | 1 | 1.25 | 2 | 3
- 线性度：0.25 µm
- 分辨率：0.03 nm
- 温度范围：-50 ... +200 °C
- 被测目标直径：Ø 3 mm
- 优异的温度稳定性
- 结构紧凑
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高精度圆柱形传感器
电容 CSH 系列传感器为圆柱形传感器，专为追求最高测量精度的应用场景设计。传感器采用周向夹持或点位夹持方式安装，并配备集成式传感器线缆。
特点
- 测量范围 (mm): 0.2 | 0.5 | 1 | 1.2 | 2
- 线性度：0.08 µm
- 分辨率：0.06 nm
- 温度范围：-50... +200 °C
- 被测目标直径：Ø 7 mm
- 优异的温度稳定性
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带螺纹圆柱形传感器
电容 CSE/Mx 系列传感器集成螺纹结构，可直接旋入测量点位安装，适用于无法采用夹持安装的工况。传感器配备集成式插座，插拔便捷，可搭配不同型号的传感器线缆使用。
特点
- 测量范围 (mm): 0.5 | 1.25 | 2 | 3
- 线性度：0.25 µm
- 分辨率：0.15 nm
- 温度范围：-50... +200 °C
- 被测目标直径：Ø 7 mm
- 优异的温度稳定性
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扁平式传感器
电容 CSHxFL 传感器采用扁平式结构设计，相比圆柱形传感器可实现更低的安装高度。因其结构紧凑，传感器线缆为固定集成式。传感器可通过壳体上的集成安装孔轻松旋拧固定安装。
特点
- 测量范围 (mm): 0.2 | 0.5 | 1 | 1.2 | 2 | 3
- 线性度：0.08 µm
- 分辨率：0.06 nm
- 温度范围：-50 ... +200 °C
- 被测目标直径：Ø 7 mm
- 优异的温度稳定性
- 扁平设计，节省安装空间
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间隙传感器
电容 CSG 与 CSF 传感器采用超薄 PCB 结构，特别适用于间隙测量场景。CSF 型号为单侧间隙检测，适用于一侧固定的工况，也可用于检测和维护用途。CSG 型号则通过两个独立的距离值来计算间隙宽度，实现双侧测量。该传感器可自由伸入间隙中，通常用于间隙两侧均为运动部件的场合，例如在两根旋转辊轴之间的间隙测量。
特点
- 测量范围 (mm): 0.5 | 1 | 2 | 4 | 6
- 线性度：0.5 µm
- 分辨率：0.15 nm
- 被测目标尺寸：约 10 x 10 mm
- 温度范围：-50 ... (+100) +150 °C
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适用于高达 800 °C 环境的圆柱形传感器
电容 CSE/HT 系列传感器可耐受极宽的温度范围，最高可达 +800 ℃。其集成的耐高温传感器线缆可有效抑制电场和磁场的干扰。凭借高温度稳定性和极高的线性度，即使在严苛的环境条件下也能实现精确的测量结果。传感器采用周向夹具可轻松安装，并配有集成线缆，可通过额外的标准传感器线缆进行延长。
特点
- 测量范围(mm): 1 | 2 | 5 | 10
- 线性度：0.5 µm
- 分辨率：10 nm
- 宽温度范围：-50 ... +800 °C
- 被测目标直径：Ø 8 mm
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适用于严苛环境的坚固型传感器
电容 CSH/SE 及 CSH/FL/SE 传感器专为严苛环境设计，例如极低温、强磁场等工况，同时也非常适用于洁净室及超高真空应用场景。该系列传感器提供圆柱形（CSH/SE）与扁平式（CSH/FL/SE）两种结构可选。
特点
- 测量范围 (mm): 0.2 | 0.5 | 1 | 1.2 | 2 | 3 | 5
- 线性度：0.25 µm
- 分辨率：0.075 nm
- 温度范围：-270 ... +200 °C
- 适用于极低温、洁净室、超高真空（UHV）、强磁场等严苛环境
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适用于狭小安装空间的超微型传感器
德国米铱提供极其紧凑的电容传感器，用于集成到狭小空间中。无论是直径仅 3 mm 的圆柱形传感器、厚度仅为 0.35 mm 的扁平传感器，还是柔性 PCB 版本，测量点几乎不占用任何空间。此外，测量范围直接从传感器处开始，进一步节省了额外的安装空间。
三轴设计，信号稳定性卓越
德国米铱的电容传感器采用三轴设计，与传统传感器明显区分开来。内置的保护环产生高度均匀的测量场，为实现超高精度测量与优异的信号稳定性奠定了基础。带电气屏蔽的传感器线缆可最大限度地抑制外部干扰，并确保低噪声且可靠的测量信号。
测量范围的扩展与缩减
为了提高使用灵活性，可通过出厂校准将测量范围按系数（如 0.5 倍或 2 倍）进行扩展或缩减。这样，既可以利用现有的传感器设计来适应更大的测量范围，也可以通过缩减测量范围来提高测量精度。
真空与厚度测量配套附件
丰富的附件系列使传感器能够完美适配各类应用场景，包括真空穿通件、真空兼容型传感器电缆等真空部件，以及可定制长度的电缆和针对特殊测量任务的延长线。对于双面厚度测量，可选安装支架可实现多通道测量方案，并且可根据需要进行校准。此外，用于间隙传感器的空气吹扫附件可支持在严苛环境中的可靠使用。