高反射表面的高精度检测与测量

测量对象被具有特定条纹图案的光源进行非接触式照射。高反光表面会将这些图案反射至两台相机，相机可识别条纹极其微小的偏移与形变。

传感器依据采集到的图像序列生成高分辨率 2D 相位图像，以此实现对表面缺陷的可靠检测与评估。具备 3D 测量能力的 reflectCONTROL 系列型号，还可利用相位信息计算得到 3D 点云，即表面形貌。

根据传感器型号的不同，测量数据可进一步处理，用于自动化缺陷检测、表面检测以及 3D 形貌测量。

米铱公司的相位偏折测量传感器可对光亮、高反射表面进行超高精度检测。传感器以非接触、高分辨率方式识别极其微小的形状偏差、波纹度以及局部表面缺陷。典型应用领域包括半导体行业、光学元件、玻璃表面、显示屏，以及喷漆或抛光工件等。

该类传感器既可用于单个零部件的质量检验，也可用于产线自动化在线检测。能够在早期阶段检测缺陷，减少废品与返工量，稳定保障高品质产品输出。