用于非接触式距离和厚度测量的高精度白光干涉仪
Micro-Epsilon的创新型白光干涉仪为高精度距离和厚度测量树立了标杆。这些传感器能够实现亚纳米分辨率的稳定测量结果,提供相对较大的测量范围和偏移距离。干涉仪有4个系列:IMS5400-DS用于高精度工业距离测量,IMS5400-TH用于精确厚度测量,真空适用型IMS5600-DS用于皮米分辨率的距离测量。IMS5420-TH 用于晶片厚度测量。
型号

极高的z分辨率和小光斑能够测量最小的细节和结构
干涉仪传感器能够实现亚纳米分辨率。此外,它们在整个测量范围内产生10µm的光点。这样就可以测量小细节,如半导体和微型电子元件上的结构。斑由先导激光显示,便于对传感器进行校准。
接口和信号处理单元
集成到机器和系统中的现代接口
该控制器提供集成接口,如以太网、EtherCAT和RS422,以及额外的编码器连接、模拟输出、同步输入和数字I/o。当您使用Micro-Epsilon的接口模块时,PROFINET和EthernetIP都是可用的。这使得干涉仪可以集成到所有控制系统和生产程序中。





