晶圆处理过程中的定位

在处理晶圆时，精确和可重复的定位至关重要。在晶圆进料过程中，两个optoCONTROL激光千分尺检查直径，从而确定水平位置。由于高测量速率和精度，这些千分尺提供了可靠的位置信息。根据两个千分尺的相对位置，可以检测不同的晶圆直径。