光谱共焦传感器

高分辨率和高速度：更精确的距离和厚度测量

confocalDT传感器具有出色的信噪比，可实现高精度的快速测量。该传感器的快速表面补偿功能，使其在表面变化时也能实现超强的信号稳定性。

超小光斑：最小细节和结构的测量

Micro-Epsilon 的光谱共焦传感器具有高数值孔径 (NA)，可产生 <3 µm 的最小光斑。因此，可以可靠地检测到最细微的细节和结构。

大倾斜角

confocalDT IFS传感器可承受高达48°的大倾斜角。因此，即便是曲面和结构化表面也能够可靠地检测，并可获得稳定的信号。