光谱共焦传感器

高分辨率和高速度：更精确的距离和厚度测量

confocalDT传感器具有出色的信噪比，可实现高精度的快速测量。该传感器的快速表面补偿功能，使其在表面变化时也能实现超强的信号稳定性。

超小光斑：最小细节和结构的测量

Micro-Epsilon 的光谱共焦传感器具有高数值孔径 (NA)，可产生 <3 µm 的最小光斑。因此，可以可靠地检测到最细微的细节和结构。

大测量角度

confocalDT IFS 传感器提供高达 48° 的大测量角度。因此，能够可靠地检测曲面和结构化表面，从而生成稳定的信号。

新一代产品：紧凑型、真空适用且热稳定性高达200 °C

新型光谱共焦高温传感器为严苛环境下的测量树立了新标准。德国米铱公的司产品组合首次推出可承受高达 200°C 温度的光学传感器，且具备超高测量精度。得益于其紧凑的设计、多样的测量范围以及 90° 光束路径，这些传感器非常适用于安装空间受限的应用场景。其低放气特性设计也使其适用于超高真空（UHV）环境。

适用于真空环境 confocalDT 传感器采用无源元件设计，不会向环境中释放任何热辐射。针对真空应用场景，米铱公司提供符合相应规格的传感器、线缆及配件（洁净室、真空、超高真空）。真空兼容型传感器提供多种量程可供选择，并具备轴向或径向光路设计。