传统的检测系统（如测量显微镜）不适合作为自动在线解决方案，因为检测过程需要很长时间，而且这些显微镜非常昂贵。因此，Micro-Epsilon的3D传感器可实现基板的全自动在线检测。
高精度3D快照传感器surfaceCONTROL 3D 3510可在生产线上直接测量基板的哑光表面。工作距离为120至140毫米。记录的测量值在传感器中计算，并通过集成的千兆以太网接口输出到外部PC。使用功能强大的3DInspect软件，可以进一步处理、评估和记录3D数据。
