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定制传感器/真空IFS2406

用于特殊要求的距离和厚度测量的光谱共焦传感器

光谱共焦IFS2406系列因其紧凑的设计和高精度脱颖而出。除了用于反射表面和透明表面的距离测量外,该传感器还可用于透明薄膜、板材或层的单面厚度测量。通过轴向和径向测量方向,IFS2406-2,5 传感器的用途特别广泛,适用于真空应用。

confocalDT IFS2406

  • 测量范围(毫米):2.5 | 3 | 10
  • 最大线性度0.75 µm
  • 最大分辨率 18 nm
  • 距离和单面厚度测量
  • 小光斑
  • 真空兼容传感器

 

 

confocalDT IFS2406-3/VAC(001)

  • 测量范围(毫米):3
  • 最大线性度1.5 µm
  • 最大分辨率50 nm
  • 距离和单面厚度测量
  • 小光斑
  • 真空兼容传感器
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