用于高精度距离、粗糙度和厚度测量的光谱共焦传感器

• 可在高达 200 °C 的环境温度下实现可靠测量
• 测量范围 ('mm): 0.8 | 2 | 4
• 温度范围：最高 200 °C
• 线性度：最高 < ±0,18 µm
• 分辨率：最高 < 6 nm
• 不锈钢外壳 1.4404
• 适用于真空环境，最高可达 UHV
• 90° 变体

更多关于高温传感器的信息

• 测量范围（毫米）：0.1
• 线性度：最大值 0.05 µm
• 分辨率：最大3 nm
• 适用于距离与粗糙度测量
• 适用于高速工艺的光密集型传感器可选（NA 0.7）
• 小测量点尺寸：3 µm
• 高灵敏度和大测量角度
• 可对 5µm 的透明物体进行厚度测量

• 测量范围（mm）：0.8
• 线性度：最高 0.2 µm
• 分辨率：最高 24 nm
• 小光斑
• 节省空间的传感器设计
• 即使在曲面上也能实现精确的距离测量
• 非常适用于薄层厚度测量

• 测量范围（毫米）：1.5
• 5.5 µm 的极小测量点
• 测量角度 ± 43°
• 高光强型号(NA > 0.7)
• 曲面与镜面高精度测量
• 结构化表面稳定测量

• 测量范围（毫米）：3
• 线性度：最大 0.5 µm
• 分辨率：最大 13 nm
• 大偏移距离 28 毫米
• 最大测量角度 ±30°
• 适合于曲面和反射面的测量

• 测量范围（毫米）: 6
• 线性度：最大 1 µm
• 分辨率：最大 15 nm
• 大偏移距离约 32 mm
• 适用于在复杂表面上进行快速、高精度测量
• 即使在深色/低反射率表面上也能保持高光强

• 测量范围（毫米）：0.3
• 线性度：最大值 0.15 µm
• 分辨率：最大 6 nm
• 位移和粗糙度测量的理想选择
• 小测量点尺寸：6 µm
• 高灵敏度和大测量角度