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interferoMETER 5200-TH

针对薄层的高精度厚度测量

材料厚度薄至 1 µm

亚纳米级分辨率

用于可靠厚度测量且精度达亚微米级的白光干涉仪

新型 IMS5200-TH 白光干涉仪为快速、可靠的厚度测量开辟了新的可能性。该控制器具备智能评估功能,能够对薄至 1 µm 的透明层进行精确的厚度测量。其高达 24 kHz 的测量频率使 IMS5200 系列型号非常适合工业应用。

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特点

  1. 测量频率高达 24 kHz,可实现快速、稳定的测量
  2. 工作范围大,易于集成
  3. 精确的涂层厚度测量:1 µm 至 100 µm
  4. 多峰值:可测量多达 5 层的涂层
  5. 配备坚固金属外壳的工业优化型传感器
  6. 可在真空环境中使用
  7. 通过网页界面进行简单配置
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对于两块玻璃板(n~1)之间的气隙测量,测量范围为 1.5 µm 至 150 µm。对于玻璃厚度测量(折射率 ~ 1.5),测量范围为 1 µm 至 100 µm

不同测量距离下的可靠厚度测量

IMS5200-TH 白光干涉仪用于高精度厚度测量。其决定性优势在于其测量不受距离影响,即使测量对象处于运动状态,也能获得纳米级精度的厚度值。该干涉仪的测量范围为 1 至 100 µm,适用于薄透明层和薄膜的测量。

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多层厚度测量

采用多峰值控制器,可同时评估多个信号峰值。这使得能够对透明物体和夹层玻璃进行多层厚度测量。无论其位置如何,控制器都能以最高稳定性输出这些厚度值。

工业环境的理想选择

坚固耐用的传感器和安装在金属外壳内的控制器使该系统非常适合集成到生产线中。传感器设计紧凑且工作范围大,易于集成。即使在振动环境中,它也能提供稳定的测量结果。控制器可安装在控制柜的 DIN 导轨上。长达 10 米的电缆长度允许传感器和控制器在空间上分离。通过网页界面即可方便地进行调试和参数设置,无需安装任何软件。

适用于严苛测量任务的多种型号

型号 测量范围 / 测量范围起点 线性度 可测量层数 应用领域
IMS5200-TH26 26 mm ±2 mm / 1 µm 至 100 µm < 1 nm 1 层 快速可靠的在线测量薄透明层:例如薄膜和玻璃涂层
IMS5200-TH26/VAC
IMS5200MP-TH26 最多 5 层