晶圆台定位

Micro-Epsilon的非接触式传感器用于晶圆台的位置监控，测量其高速动态XYZ运动。电容和电涡流传感器可达到纳米分辨率，以确保晶圆在曝光过程中精确定位。这些创新的传感器可用于真空应用，对强磁场不敏感。