高精度位移传感器，专为半导体工程中的 OEM 系列应用设计
米铱公司的传感器技术已在半导体行业成功应用多年，能够为各类测量任务提供理想解决方案：我们提供超精密传感器，适用于复杂的前端工艺、后端应用及晶圆处理自动化。我们的传感器解决方案凭借高精度、可靠性和长期稳定性脱颖而出 —— 即使在各种制造环境中面临严苛的工艺条件，依然表现出色。
嵌入式线圈技术
针对要求严苛的 OEM 项目，我们推荐采用嵌入式线圈技术或嵌入式电容技术（ECT）。得益于无机材料的微型传感器设计，其外部形状几乎可实现任意自由度。由于采用陶瓷基板，传感器具有机械强度高且极度稳定的特点。如有需要，可将整个评估电子电路集成到传感器中。这使得 ECT 传感器能够适应特殊安装环境。ECT 传感器适用于最严苛的使用条件，并在众多应用中证明了其卓越性能。
为半导体行业带来更高精度
德国米铱公司为半导体行业的多样化应用提供理想解决方案，涵盖高精度光学定位、晶圆台校准以及混合键合等领域。这些传感器广泛应用于前端和后端工艺流程，凭借其卓越的精度和可靠性脱颖而出。
