新产品

光谱共焦高温传感器 IFS2407


新一代产品:可在高达 200°C 环境下使用的高温传感器

兼容超真空(UHV)环境

是精密机械制造和半导体行业的理想之选

适用于高达 200 °C 环境的共焦高温传感器

新型光谱共焦高温传感器为严苛环境下的测量树立了新标准。德国米铱公司的产品系列首次推出了可承受高达 200 °C 温度且具备最高测量精度的光学传感器。得益于紧凑的设计,这些传感器特别适用于安装空间极为有限的应用场景。创新型 HT 系列提供多种量程选择和 90° 光路设计,可灵活适配不同的安装工况。极低的气体释放特性使其适用于超高真空(UHV)环境,完美契合精密机械制造和半导体行业的测量需求。

confocalDT IFS2407-0,8HT/VAC

  • 测量范围 (mm): 0.8
  • 线性度: 最高 < ±0,18 µm
  • 分辨率:最高 < 6 nm
  • 低释气性:非常适用于 UHV 环境和洁净室应用
  • 可在极端环境条件下使用:在高达 200 °C 的温度下仍能进行可靠测量
  • 不锈钢外壳 1.4404

confocalDT IFS2407-2HT/VAC

  • 测量范围 (mm): 2
  • 线性度:最高 < ±0,44 µm
  • 分辨率:最高 < 10 nm
  • 低放气性:非常适用于 UHV 环境和洁净室应用
  • 可在极端环境条件下使用:在高达 200 °C 的温度下仍能进行可靠测量
  • 不锈钢外壳 1.4404
  • 配备 90° 光束路径的型号

confocalDT IFS2407-4HT/VAC

  • 测量范围 (mm): 4
  • 线性度:最高 < ±0,8 µm
  • 分辨率:最高 < 24 nm
  • 低放气性:非常适用于 UHV 环境和洁净室应用
  • 可在极端环境条件下使用:在高达 200 °C 的温度下仍能进行可靠测量
  • 不锈钢外壳 1.4404
  • 配备 90° 光束路径的型号
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