电容多通道系统可实现最高分辨率
电容位移传感器设计用于要求极高精度的测量任务。capaNCDT 6500 电容多通道系统非常适合亚纳米分辨率的可靠测量。控制器的最高响应速率为 7.8kHz（数字模式，最多支持四个通道）或 8.5kHz 频率响应。除模拟输出外，还配备 EtherCAT 接口。该接口支持实时精准数据传输，可高速集成至现有测量环境，并实现双系统同步。capaNCDT 6500 系统的设置与配置均可通过网页浏览器轻松完成。
最高分辨率
capaNCDT 6500 系统专为要求亚纳米分辨率的测量任务而设计。在半导体行业的定位任务和实验室应用中，其优势尤为显著。模块化 capaNCDT 6500 专为多通道应用而设计。通过前置放大器，最多可将八个传感器连接到信号调节电子装置上。
通过网页界面轻松操作
凭借用户友好的网页界面，控制器和传感器的整个配置过程无需使用任何附加软件即可完成。该网页界面可通过以太网访问，提供滤波器、算术链接及其他实用参数（如触发、测量值存储和线性化）的设置与配置选项。
DT6530电容控制器为电容式位移测量提供了最大的分辨率和信号稳定性。该控制器可操作多达8个通道，不仅适用于导电物体，也适用于绝缘体。除了模拟输出，控制器还配备了以太网数字接口。DT6530控制器与capaNCDT系列的所有传感器和电缆兼容。
- 动态分辨率0.002%FSO（8.5 kHz）
- 频率响应8.5 kHz（-3 dB）（可切换20Hz；1kHz；8.5 kHz）
- 模拟输出0...10V（防短路），4...20m；0...20mA
- 数字接口以太网24位；EtherCAT
- 特殊调谐：高达标准电缆长度的四倍
- Data sheet capaNCDT 6500 (pdf, 1.20 MB)
- Operating Instructions capaNCDT 6500 EtherCAT (pdf, 7.94 MB)
- CAD file 3D-model DT6530/C rack, STEP (zip, 5.20 MB)
- sensorTOOL V2.2.0 (exe, 18.11 MB)
- Firmware update DT6530: SW1.5a / FW1.3a / Web-Build 20689 (zip, 1.26 MB)
- Micro-Epsilon EtherCAT ESI file "IF1032" (zip, 38.19 KB)
- MEDAQLib V5.5.0 (zip, 23.09 MB)
The mounting frame is designed for use with capacitive sensors for two-sided thickness measurements and helps to align the measuring points with one another. The frame allows for the sensors to lie exactly on one axis, meaning that the measuring points are arranged congruently. This prevents measurements at an offset and a reliable measurement result is achieved with the highest possible precision. The mounting frames provide space for up to 6 sensors. Two sensors each form a measuring point.
- Multi-track thickness measurement at up to 3 points simultaneously
- High temperature stability for precise measurements at temperatures of up to 100 °C
- Suitable for vacuum
- Extremely compact design
- Easy integration and retrofitting in existing systems
- Compatible with capaNCDT sensors
- Calibratable design for high precision in thickness measurements