晶圆倾斜角测量

晶圆的准确位置在晶圆处理中起着重要的作用。在晶圆进料过程中，白光干涉仪测量晶圆的水平倾斜角。两个干涉仪测量晶片。Micro-Epsilon的白光干涉仪可提供亚纳米分辨率的绝对距离值。该测量可确保在拾取和移除晶片时获得最高的位置精度。