利用白光干涉仪定位晶圆台

Micro-Epsilon的白光干涉仪IMS5600用于晶圆台位置监测。它以极高的加速度测量晶圆台XYZ方向的运动。高精度光学测量系统的分辨率可达纳米级，可确保晶片在曝光时的定位精度达到纳米级。由于采用了适用于真空的测量头，测量系统可以在真空中使用，并且对强磁场不敏感。