利用电容传感器定位晶圆台

电容位移传感器用于晶圆台的精细定位任务。这些传感器可测量平台上不同点的位置，尤其适用于精细对准。由于其三轴设计，传感器对电磁场不敏感，分辨率可达纳米级。此外，传感器具有极高的长期稳定性。非接触式传感器设计用于真空范围，也可用于UHV范围。