光刻机透镜系统的定位

非接触式电涡流传感器可测量透镜元件的位置，以实现尽可能高的成像精度。根据透镜系统的不同，Micro-Epsilon 的位移传感器可用于检测多达 6 个自由度的移动和位置。eddyNCDT 传感器具有高频响应，还能监测镜头系统的高动态运动。