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使用光谱共焦传感器监测透镜准直

光谱共焦传感器用于测量透镜的准直。有多种传感器可直接在透镜上进行测量,以纳米级精度检测倾斜角度。与电磁传感器不同,光谱共焦传感器即使在玻璃表面也能可靠地测量。由于测量速率高,即使镜头移动的动态变化也能可靠地检测。