监测环形锯的轴向运动

环形锯用于切割硅锭。为了可靠地分离硅锭，使用电涡流传感器对锯条或支架进行监控。四个传感器在无接触的情况下测量锯条与支架之间的距离。由于高频率响应和对灰尘和污垢不敏感，传感器可提供可靠的锯条轴向偏差测量值。这确保了硅片的均匀切割。