裂纹和破损的检查

Micro-Epsilon的光谱共焦传感器用于检测晶圆上的裂纹和其他缺陷。由于具有快速表面补偿功能，它们能可靠地检测具有不同反射特性的表面。极小的光斑和高分辨率能可靠地检测晶圆上最细微的异常。