检查硅锭上的定位槽口

硅锭上通常会有定位槽口，这是硅锭准直所必需的。Micro-Epsilon的蓝色激光扫描仪用于检查槽口轮廓的尺寸精度。它们以高精度检测槽口轮廓。扫描仪在硅锭上滑动，并确定高精度的轮廓数据。创新的蓝色激光技术可实现高信号稳定性的测量采集。