硅锭尺寸检测

Micro-Epsilon的激光轮廓扫描仪用于检测硅锭的几何形状。这些设备可检测硅棒的完整几何形状。这能在分离前确定硅块的几何偏差。硅锭通常带有定向凹槽，这对于硅锭的准直是必不可少的。Micro-Epsilon的蓝色激光扫描仪用于检测这些槽口的轮廓尺寸精度。它们能高精度地记录缺口轮廓。