识别和测量晶圆上的凸起

Micro-Epsilon的光谱共焦位移传感器用于检测凸起。它们在晶圆上产生一个小光斑，同时以高分辨率可靠地检测最小的部件和结构。因此，为了接触目的，可以可靠地测量凸起的形状和尺寸。