晶圆的3D形状测量

reflectCONTROL偏折法测量系统用于检测150毫米晶圆的平整度或平面度。这些系统只需一个图像即可测量平面度。为此，传感器将条纹图案投射到晶圆上，并由集成相机记录。晶圆上的几何偏差会导致条纹图案变形，并由软件进行评估。传感器可提供高精度的反射表面3D图像，并以此为基础确定拓扑结构，精度可达微米级。