用于绝对距离和厚度测量的高精度白光干涉仪
德国米铱公司的创新型白光干涉仪在高精度距离和厚度测量领域树立了标杆。这些绝对干涉仪能够以亚纳米级分辨率实现稳定的测量结果,同时提供相对较大的测量范围和偏移距离。这些干涉仪适用于透明物体和晶圆的绝对距离与厚度测量。
您不妨亲自去验证一番:其测量精度达到了登峰造极的水平,可充分满足在工业及半导体设备制造领域等应用中的需求。

极高的z分辨率和小光斑能够测量最小的细节和结构
干涉仪传感器能够实现亚纳米分辨率。此外,它们在整个测量范围内产生10µm的光点。这样就可以测量小细节,如半导体和微型电子元件上的结构。斑由先导激光显示,便于对传感器进行校准。
接口和信号处理单元
集成到机器和系统中的现代接口
该控制器提供集成接口,如以太网、EtherCAT和RS422,以及额外的编码器连接、模拟输出、同步输入和数字I/o。当您使用Micro-Epsilon的接口模块时,PROFINET和EthernetIP都是可用的。这使得干涉仪可以集成到所有控制系统和生产程序中。





