用于非接触式距离和厚度测量的高精度白光干涉仪
Micro-Epsilon的创新型白光干涉仪为高精度距离和厚度测量树立了标杆。这些传感器能够实现亚纳米分辨率的稳定测量结果，提供相对较大的测量范围和偏移距离。干涉仪有4个系列：IMS5400-DS用于高精度工业距离测量，IMS5400-TH用于精确厚度测量，真空适用型IMS5600-DS用于皮米分辨率的距离测量。IMS5420-TH 用于晶片厚度测量。
工业与自动化干涉仪
工业白光干涉仪由一个坚固的传感器、一根高度灵活的传感器电缆和一个控制器组成，控制器装在一个铝制外壳内，可安装在 DIN 导轨上。该控制器具有主动温度控制，可补偿环境温度的变化，从而实现极高的温度稳定性。由于其坚固的设计，干涉仪也可以集成在工业环境中。长达 10 米的电缆还可实现传感器和控制器之间的空间隔离。对于洁净室和真空中的测量任务，可提供适合真空的传感器、电缆和电缆馈通附件。
极高的z分辨率和小光斑能够测量最小的细节和结构
干涉仪传感器能够实现亚纳米分辨率。此外，它们在整个测量范围内产生10µm的光点。这样就可以测量小细节，如半导体和微型电子元件上的结构。斑由先导激光显示，便于对传感器进行校准。
特殊设计的新型传感器
新型传感器具有不同的设计和性能，可集成到要求苛刻的环境中。由于其 90° 光束路径，IMP-DS0.5/90/VAC 和 IMP-DS10/90/VAC 还可以安装在较小的安装空间内。新型IMP-DS1/VAC微型传感器是Micro-Epsilon最小的光学传感器之一。该传感器直径为4毫米，配有集成光纤，也可用于极其狭窄的安装空间。传感器和光纤既可以在洁净室使用，也可以在真空中使用。
已获专利的先导激光器，可轻松实现传感器定位
白光干涉仪使用不可见范围内的红外光（波长约为 840 nm），这意味着无法看到测量位置。为了可视化测量位置，Micro-Epsilon系统配备了一个先导激光器，可将一个光斑投射到测量位置上。此外，先导激光器还采用一种专利方法，在测量位置之外提供距离反馈。如果测量物体的距离正确且在测量范围内，先导激光就会发出持续的光。如果测量物体在测量范围之外，先导激光器就会闪烁。。
用于传感器校准的可调安装适配器
为了达到最高精度，干涉仪必须尽可能垂直于目标。使用可调安装适配器，可以将传感器与测量目标最佳对准。您也可以在将传感器安装到机器后再对齐。工业适配器允许在 x 轴和 y 轴上进行位移，也允许将传感器倾斜至测量目标。
新产品： 可调节安装适配器，用于双面厚度测量
JMA-Thickness由两个可调安装适配器组成，支持双面厚度测量中传感器的对准。这意味着测量点可以在光轴上绝对一致地排列，从而确保以最高精度进行可靠的厚度测量。JMA-Thickness是集成到机器和生产工厂的理想选择。预装的安装板可实现快速简便的安装。
通过web界面的易用性
由于用户友好的网络界面，不需要额外的软件来配置控制器和传感器。网络界面可通过以太网连接访问，并能够快速轻松地设置例如平均、测量速率和预设。
接口和信号处理单元
集成到机器和系统中的现代接口
该控制器提供集成接口，如以太网、EtherCAT和RS422，以及额外的编码器连接、模拟输出、同步输入和数字I/o。当您使用Micro-Epsilon的接口模块时，PROFINET和EthernetIP都是可用的。这使得干涉仪可以集成到所有控制系统和生产程序中。
应用
