用于绝对距离和厚度测量的高精度白光干涉仪
德国米铱公司的创新型白光干涉仪在高精度距离和厚度测量领域树立了标杆。这些绝对干涉仪能够以亚纳米级分辨率实现稳定的测量结果，同时提供相对较大的测量范围和偏移距离。这些干涉仪适用于透明物体和晶圆的绝对距离与厚度测量。
您不妨亲自去验证一番：其测量精度达到了登峰造极的水平，可充分满足在工业及半导体设备制造领域等应用中的需求。
型号
工业与自动化干涉仪
工业白光干涉仪由一个坚固的传感器、一根高度灵活的传感器电缆和一个控制器组成，控制器装在一个铝制外壳内，可安装在 DIN 导轨上。该控制器具有主动温度控制，可补偿环境温度的变化，从而实现极高的温度稳定性。由于其坚固的设计，干涉仪也可以集成在工业环境中。长达 10 米的电缆还可实现传感器和控制器之间的空间隔离。对于洁净室和真空中的测量任务，可提供适合真空的传感器、电缆和电缆馈通附件。
极高的 z 轴分辨率和小光斑能够测量最小的细节和结构
干涉仪传感器能够实现亚纳米分辨率。此外，其在整个测量范围内形成 10µm 的光斑，从而能够测量半导体结构及微型电子元件等微小细节。光斑由引导激光实现可视化，便于传感器的校准对齐。
特殊设计的新型传感器
新型传感器具有不同的设计和性能，可集成到要求苛刻的环境中。由于其 90° 光束路径，IMP-DS0.5/90/VAC 和 IMP-DS10/90/VAC 还可以安装在较小的安装空间内。新型IMP-DS1/VAC微型传感器是Micro-Epsilon最小的光学传感器之一。该传感器直径为4毫米，配有集成光纤，也可用于极其狭窄的安装空间。传感器和光纤既可以在洁净室使用，也可以在真空中使用。
已获专利的先导激光器，可轻松实现传感器定位
白光干涉仪采用不可见范围内的红外光（波长约为 840 nm），这意味着无法直接看到测量位置。为可视化测量位置，米铱公司系统配备了引导激光器，可在测量位置投射光斑。此外，该引导激光器采用专利技术，除提供测量位置信息外，还能反馈距离数据。当被测物体处于正确距离且在测量范围内时，引导激光器将持续发光；若超出测量范围，则会闪烁提示。
现场轻松集成
- 组件的互换性实现灵活集成
- 快速高效的现场服务
- 德国米铱公司的服务人员可在生产线上直接更换光源
- 同类型传感器更换（适用于 IMS5400 型号 ）：无需将传感器返厂拆卸或重新校准
- 客户可自行更换同类型电缆或调整电缆长度：无需将系统寄回
用于传感器校准的可调安装适配器
为了达到最高精度，干涉仪必须尽可能垂直于目标。使用可调安装适配器，可以将传感器与测量目标最佳对准。您也可以在将传感器安装到机器后再对齐。工业适配器允许在 x 轴和 y 轴上进行位移，也允许将传感器倾斜至测量目标。
新产品： 可调节安装适配器，用于双面厚度测量
JMA-Thickness 由两个可调安装适配器组成，支持双面厚度测量中传感器的对准。这意味着测量点可以在光轴上绝对一致地排列，从而确保以最高精度进行可靠的厚度测量。该适配器特别适用于集成至机械设备和生产装置中，预装式安装板可实现快速简便的安装。
通过网页界面轻松操作
凭借用户友好的网页界面，不需要额外的软件来配置控制器和传感器。该网页界面可通过以太网连接访问，支持快速便捷地设置各项参数，例如平均值计算、测量速率和预设值。
接口和信号处理单元
集成到机器和系统中的现代接口
该控制器提供集成接口，如以太网、EtherCAT 和 RS422，以及额外的编码器连接、模拟输出、同步输入和数字 I/o。当使用米铱公司的接口模块时，可支持 PROFINET 和 EthernetIP。这使得干涉仪可以集成到所有控制系统和生产程序中。
应用
