锯痕的检测与测量

为了自动检测和测量锯痕，使用了Micro-Epsilon的光谱共焦传感器。控制器的快速表面补偿功能可调节曝光周期，以便在具有不同反射特性的表面上实现最大的信号稳定性。由于Micro-Epsilon的光谱共焦传感器可以承受较大的倾斜角，并提供极小的光斑，因此可以可靠地检测晶片上的锯痕和其他压痕。