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高分辨率和紧凑设计

新一代光谱共焦传感器

>具备超高分辨率与测量频率,可进行距离与厚度测量

适用于系列应用和 OEM 领域

confocalDT

全球规模最大的传感器产品组合,专为精准测量任务打造

confocalDT

适用于所有表面的高精度位移和距离测量

confocalDT

已在全球众多领域得到验证: 工业、机器人和半导体/真空技术

confocalDT

光谱共焦测量技术的先驱

confocalDT

自动化和生产监控的理想选择

光谱共焦传感器

confocalDT 传感器产品系列代表了光谱共焦测量技术中的最高精度和动态性能。这些传感器能够针对透明物体的距离和厚度进行高精度、快速测量。此外,创新的控制器和传感器技术确保了在所有表面上均具备高信号稳定性。高性能传感器产品组合能够满足广泛的测量任务需求,例如在平板玻璃生产、测量设备以及半导体设备制造等领域。

超高精度。多样化的应用可能性。是系列生产和 OEM 中严苛测量任务的理想选择。

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特点

  1. 高分辨率和高测量速率的距离和厚度测量
  2. 自动化和生产控制的理想选择
  3. 几乎不受表面影响,也适用于镜面和玻璃
  4. 极小且恒定的测量光斑,适用于最精细的细节
  5. 纳米级精确分辨率
  6. 具有理想信噪比的工业级控制器
  7. 无源测量系统,真空应用的理想选择
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高精度光谱共焦传感器,用于位移和厚度测量

confocalDT 传感器产品系列代表了光谱共焦技术中的最高精度和动态性能。这些传感器可用于解决各种测量任务。

全面的传感器系列,实现精准测量

适合各种测量任务的传感器!无论是狭小的安装空间、曲面测量还是半导体工业中的纳米级精确测量:confocalDT 传感器系列多样,在众多应用中表现出色。

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新一代传感器

confocalDT IFD2415 和 IFD2410 是功能强大的光谱共焦传感器,带有集成控制器。IP65 外壳节省空间,无需光纤即可实现快速集成。这些传感器非常适合高精度距离和厚度测量。IFD2415还可用于多达5层的多层厚度测量。通过主动曝光时间控制,即使在高达 25 kHz 的动态过程中,也能对不同表面进行稳定测量。

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高分辨率和高速度:更精确的距离和厚度测量

confocalDT传感器具有出色的信噪比,可实现高精度的快速测量。该传感器的快速表面补偿功能,使其在表面变化时也能实现超强的信号稳定性。

超小光斑:最小细节和结构的测量

Micro-Epsilon 的光谱共焦传感器具有高数值孔径 (NA),可产生 <3 µm 的最小光斑。因此,可以可靠地检测到最细微的细节和结构。

大测量角度

confocalDT IFS 传感器提供高达 48° 的大测量角度。因此,能够可靠地检测曲面和结构化表面,从而生成稳定的信号。

真空环境适用

confocalDT 传感器采用无源元件设计,不会向环境释放任何热辐射。德国米铱公司提供符合相应规格要求(如洁净室、真空、超高真空 UHV 环境)的传感器、光纤及配件。适用于真空环境的传感器具备多种测量范围,并可选择轴向或径向光束路径。

用于工业、机器人和真空领域的坚固光纤

适用于所有表面

通过网络界面易于使用

通过用户友好的网络接口,无需额外软件即可配置控制器和传感器。网络接口可通过以太网访问,并提供设置和配置选项。对于厚度测量,材料存储在可扩展的材料数据库中。

多种接口,便于集成

工业应用中精密测量的理想选择

视频: 用于位移和厚度测量的光谱共焦传感器

应用