电容传感器

晶圆和半导体工业测量-capa

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发布日期:2016-04-27 浏览:

半导体工业当中,为了实现工艺要求和生产效率,需要满足超高精度的测量。德国米铱公司提供的电容式位移传感器被用于以纳米级的精度校准芯片光刻机中镜片的位置,测量晶圆厚度等应用。

Extreme accuracies are required in the semiconductor industry in order to design processes and products efficiently. Capacitive sensors from Micro-Epsilon are used, among other things, for the positioning, displacement measurement and thickness measurement in the semiconductors area.

 

 

以纳米级的精度校准芯片光刻机中镜片的位

晶圆厚度三点测量      

       

       


两支电容式传感器测量晶圆厚度

 

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