德国米铱传感器

Micro-Epsilon 传感器的光谱共焦位移传感器产品组合已扩展，包括用于位移和厚度测量的新型精密传感器。共聚焦 DT IFS2407-1.5 型号特别适用于曲面和结构化表面。在漫反射表面上，数值孔径为 0.70 的传感器可实现 （±70°） 的高测量角度。它特别适用于齿轮等精密零件，在这些零件中，陡峭和闪亮的侧面可以极其可靠和高精度地再现。与新型IFC2465HP高强度共聚焦控制器配合使用时尤其如此，由于曝光时间的自动调节、高光强度和快速测量速率，传感器能够获得出色的结果。传感器的另一个应

surfaceCONTROL 3xx0-240 具有较大的测量范围和出色的 3D 数据质量，可以最高精度捕获较大目标的结构和细节。该传感器具有高达 4 μm 的高 z 轴分辨率、< 1.4 μm 的出色 z 轴重复性以及较大的测量范围。这可在众多应用中实现最高精度，例如双极板的测试。最重要的应用包括平面度和共面度测量以及缺陷检测。优势一览对最大 245 x 180 mm 的测量对象进行真正的在线 3D 测量出色的 3D 数据质量用途广泛，特别易于集成、调试和参数设置通过千兆以太网和额外的数

新型 optoCONTROL 2700 高性能 LED 千分尺为要求苛刻的测量任务提供了无与伦比的精度。厚度、间隙、边缘和线段可以高精度测量。可以对 0.3 mm 以上的小物体进行精确测量。LED 精密千分尺的线性度为 ≤ 1 μm，数字分辨率为 10 nm。例如，它用于半导体生产、汽车工业、航空航天和医疗技术。决定性的优势是远心光学器件，它显着优化了测量精度。测量对象被均匀照亮，实时倾角校正确保即使测量对象以一定角度定位或倾斜，也能获得极其准确的测量结果。因此，测量对象不需要正交对准。无论是高

optoNCDT 1220激光传感器用于工业自动化中的精确测量。传感器可高精度测量位移、距离和位置。这些新型号现在提供高达 500 mm 的测量范围，测量速率翻倍，最高可达 2 KHz 和 16 位数字/模拟转换。传感器重量仅为 60 克，尺寸为 46x30x20 毫米，设计非常紧凑。因此，传感器非常适合集成在狭窄的安装空间中。optoNCDT 1220 具有坚固的铝制外壳和 IP67 防护等级，专为工业环境而设计。该传感器具有高度的防冲击和振动保护。因此，传感器被用于自动化技术的所有领域，如机

支持OEM的thicknessGAUGE在线测厚系统现在更加强大。这些系统有三种不同的版本：激光传感器、激光扫描仪或共聚焦传感器，可为众多测量对象提供最佳测量结果。随着向新传感器型号的转换，它们现在的测量速度更快，测量范围更广。三种不同的传感器类型使系统能够轻松适应测量任务，并在表面和材料方面具有高度的灵活性。作为交钥匙系统，thicknessGAUGE 系统提供强大的 Micro-Epsilon 传感器技术以及全面的控制和评估软件、机械横移轴和自动校准。所需的 24 V 电源电压也减少了集成所

Micro-Epsilon 的激光轮廓扫描仪在精度和测量速率方面是我公司产品中最强大的轮廓传感器之一。scanCONTROL 3000系列的性能进一步提升：数据采集和输出速度提高到 1000 万个测量点/秒，而 SMART 传感器的轮廓计算和评估速度提高了 60%。Micro-Epsilon 的 SMART 扫描仪是所有设备中最快的轮廓评估之一。随着 scanCONTROL 配置工具 6.8 的更新，速度提升将对所有当前的 scanCONTROL SMART 型号生效。随着新 v54 固件的更新

对于位移、距离和位置测量，capaNCDT 62xx 电容系统提供精确的距离测量，并且易于集成。配备新的PROFINET接口，可以更快地集成到工业以太网环境中，并减少布线工作。还可以在传感器全性能下进行实时测量。除了性价比高于其他米铱产品外，模块化设计还允许以简单的方式组合多达四个通道。传感器通过工业以太网直接进行参数化和配置。紧凑型控制器可用作台式装置、壁挂式装置或通过适配器安装在DIN导轨上。该控制器有四种基本版本，可根据测量任务的要求与不同的解调器结合使用。capaNCDT 6240 系统

在半导体生产中，最高精度至关重要。一个重要的工艺步骤是研磨坯料，从而使坯料达到均匀的厚度。为了连续控制厚度，开发了interferoMETER IMS5420系列白光干涉仪。它们都由一个紧凑的传感器和一个控制器组成，安装在坚固的工业级外壳中。控制器中集成了主动温度控制，确保了测量的高稳定性。该干涉仪可作为厚度测量系统或多峰厚度测量系统使用。多峰厚度测量系统可以测量多达五层的厚度，例如晶圆厚度、气隙、薄膜和涂层 >50 μm。对于在恶劣环境条件下进行厚度测量，IMS5420IP67控制器具有

新的thicknessSENSOR在非接触式厚度测量方面开辟了多种应用可能性。该传感器运行精度高，可实现快速调试和易用性。thicknessSENSOR是一个完全组装的系统，用于对带材和板材进行非接触厚度测量。该系统由两个位移传感器组成，它们彼此相对地固定在一个框架上，并从两侧对目标进行测量。根据差异原理检测材料厚度，并使用集成评估单元进行计算。测量值通过电压和电流输出为模拟值，或通过以太网以数字形式输出。由于其极其紧凑的尺寸，该传感器也可以很容易地集成到有限的安装空间中。直观的 Web 界面为

THICKNESSSENSOR用于对金属或塑料等窄带材和板材进行精确的厚度测量。新型号 thicknessSENSOR ILD1420LL 现在可以对金属表面进行更精确的测量。这是由于其小的椭圆形测量点可以补偿纹理和粗糙表面，使传感器能够提供更高的精度。传感器系统由两个激光三角测量传感器组成，它们从两侧对物体进行测量。集成的评估单元计算厚度值，这些值以模拟形式输出为电压和/或电流，或通过以太网以数字形式输出。由于其紧凑的设计，该系统也可以集成在狭窄的空间内。即用型设置可实现快速简单的调试。另一个