德国米铱传感器

在半导体生产中，最高精度至关重要。一个重要的工艺步骤是研磨坯料，从而使坯料达到均匀的厚度。为了连续控制厚度，开发了interferoMETER IMS5420系列白光干涉仪。它们都由一个紧凑的传感器和一个控制器组成，安装在坚固的工业级外壳中。控制器中集成了主动温度控制，确保了测量的高稳定性。该干涉仪可作为厚度测量系统或多峰厚度测量系统使用。多峰厚度测量系统可以测量多达五层的厚度，例如晶圆厚度、气隙、薄膜和涂层 >50 μm。对于在恶劣环境条件下进行厚度测量，IMS5420IP67控制器具有

新的thicknessSENSOR在非接触式厚度测量方面开辟了多种应用可能性。该传感器运行精度高，可实现快速调试和易用性。thicknessSENSOR是一个完全组装的系统，用于对带材和板材进行非接触厚度测量。该系统由两个位移传感器组成，它们彼此相对地固定在一个框架上，并从两侧对目标进行测量。根据差异原理检测材料厚度，并使用集成评估单元进行计算。测量值通过电压和电流输出为模拟值，或通过以太网以数字形式输出。由于其极其紧凑的尺寸，该传感器也可以很容易地集成到有限的安装空间中。直观的 Web 界面为

THICKNESSSENSOR用于对金属或塑料等窄带材和板材进行精确的厚度测量。新型号 thicknessSENSOR ILD1420LL 现在可以对金属表面进行更精确的测量。这是由于其小的椭圆形测量点可以补偿纹理和粗糙表面，使传感器能够提供更高的精度。传感器系统由两个激光三角测量传感器组成，它们从两侧对物体进行测量。集成的评估单元计算厚度值，这些值以模拟形式输出为电压和/或电流，或通过以太网以数字形式输出。由于其紧凑的设计，该系统也可以集成在狭窄的空间内。即用型设置可实现快速简单的调试。另一个

基于涡流原理的电感系列传感器 eddyNCDT 提供位移、距离、位置和振荡的非接触检测。它们可以对铁磁性和非铁磁性材料进行高精度测量。事实证明，eddyNCDT传感器在具有挑战性的工业环境中具有耐污垢、耐压和耐温性，同时还具有非常高的分辨率。由于其行业优化的微型设计和高测量精度，这些传感器用于监测润滑间隙、热膨胀、轴运动，并确保机器部件和驱动部件的平稳运行等应用。坚固的传感器设计传感器针对工业应用进行了优化。它们对温度波动、灰尘、污垢和油不敏感，可承受高达 2,000 bar

Micro-Epsilon的拉线位移传感器已成功应用于各个行业。移动机械是最重要的行业之一。MK88 和 K100 系列非常适合安装在伸缩臂起重机的支架和吊臂中，通常需要高达 8 m 的测量范围。这些传感器的测量范围扩大到 6 至 8 m，现在可以更灵活地用于这些应用和其他应用。它们还具有现代CANopen连接。凭借出色的性价比，它们对系列解决方案也特别有吸引力。K100系列新型、大测量范围、8 m、现代CANopen接口MK88系列新型、大测量范围、6 m、现代CANopen接口查看

通过interferoMETER系列，Micro-Epsilon为工业距离和厚度测量提供了创新的白光干涉仪，具有最高的精度。与激光干涉仪相比，绝对距离测量也可以在信号跳跃期间进行。可实现低至皮米级的分辨率。三种新型传感器可用于特殊环境中的高性能测量。干涉仪 IMP-DS0.5/90/VAC90°适用于狭小安装空间的测距传感器 测量范围 1.5 mm线性误差 ±10 nm（取决于控制器）径向光束出射设计用于高达 UHV 的真空应用干涉仪 IMP-DS19/VAC（001）具有最高温度稳定性的传感器

colorSENSOR CFO250 是 Micro-Epsilon 颜色传感器控制器产品组合的理想补充。测量速率为 10 kHz 的 colorSENSOR CFO100 和测量速率为 30 kHz 的 colorSENSOR CFO200 专注于显示颜色的精确结果，并以几 Hz 的频率输出测量值。新型colorSENSOR CFO250还提供30 kHz的测量速率，现在测量数据输出速度明显加快，最高可达500 Hz，而其他特性保持不变。在此过程中，示教的颜色与电流测量值进行比较，在控制器 （

optoNCDT ILR1171-125激光距离传感器专为户外使用而设计。它的测量速度比其前身快 20 倍。由于采用红外光的激光飞行时间原理和高达 40 kHz 的测量速率，可实现高能量脉冲，从而实现稳定的测量和非常好的信号质量。即使在雾和雨等能见度较差的条件下，该传感器也能提供高精度。对环境光的电阻为 50，000 lux。坚固的 IP67 铝制外壳可保护传感器，在 -40 至 +60 °C 的温度范围内也能提供可靠的结果。 由于其极其紧凑的设计，即使在空间有限的情况下也可以安装传感器。应用领

新型 confocalDT IFD2411 系统针对工业系列应用进行了优化。它作为一个完整的通道提供，并在工厂校准为测量范围为 1、2、3 或 6 mm 的传感器。控制器可通过集成的DIN导轨安装轻松集成到控制柜中。IFD8 的测量速率高达 12 kHz，分辨率高达 2411 nm，为距离和厚度测量提供了较大的应用多功能性，例如在机械制造以及玻璃和智能手机生产中。内置工业以太网接口（EtherCAT）将强大的传感器系统直接集成到PLC中。优势用于精确距离和厚度测量的紧凑型控制器非常适合集成到控制

光谱共焦位移传感器 IFD2410 和 IFD2415在集成工业以太网的一体化外壳中提供高性能。这些传感器采用坚固紧凑的设计，外壳经过 IP65 认证，是工业系列应用的理想选择。这些传感器用于在线检测机、坐标测量机、机器人、3D 打印、平板和容器玻璃的厚度监测以及测试电子组件等应用中的精确距离和厚度测量。使用透明材料，可以执行多达 5 层的多层测量。CCD阵列的主动曝光时间调节允许在不同表面上进行快速稳定的测量，即使动态测量过程高达25 kHz。节省空间的 IP65 外壳可快速集成到工厂设备和机