德国米铱推出2406系列光谱共焦位移传感器
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发布日期:2022-09-02 11:35 浏览: 次
光谱共焦测量原理传感器可以为客户提供极高精度的测量结果,适用于透明被测物体,可以同时测量多层结构各层厚度。特别适合于诸如半导体制造设备内的移动部件定位,微动台定位,以及诸多精密结构定位和尺寸测量等领域。
日前,德国米铱公司位于德国巴伐利亚的总部发布了一款新的光谱共焦传感器 ---- confocalDT2406, 可以为客户提供10mm量程。目前为止,confocalDT2406可以提供三个量程选择,分别是10mm、3mm和2.5mm。 除了在反射和透明表面上进行距离测量外,该传感器还可用于透明薄膜、板或层的单面厚度测量。IFS2406-2,5 传感器具有轴向和径向测量方向,用途广泛,适用于真空应用。
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