在半导体生产中，最高精度至关重要。一个重要的工艺步骤是研磨坯料，从而使坯料达到均匀的厚度。为了连续控制厚度，开发了interferoMETER IMS5420系列白光干涉仪。
它们都由一个紧凑的传感器和一个控制器组成，安装在坚固的工业级外壳中。控制器中集成了主动温度控制，确保了测量的高稳定性。
该干涉仪可作为厚度测量系统或多峰厚度测量系统使用。多峰厚度测量系统可以测量多达五层的厚度，例如晶圆厚度、气隙、薄膜和涂层 >50 μm。对于在恶劣环境条件下进行厚度测量，IMS5420IP67控制器具有 IP67 防护等级和不锈钢外壳以及匹配的光纤和传感器。
优势
未掺杂、掺杂和高度掺杂晶圆的纳米级厚度测量
多峰：检测多达 5 层，SI 厚度为 0.05 至 1.05 mm
1 nm 的 z 轴高分辨率
测量速率高达 6 kHz，适用于高速测量
以太网 / EtherCAT / RS422 / PROFINET / EtherNet/IP
通过 Web 界面进行简单的参数设置
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用于高精度晶圆检测的白光干涉仪 (micro-epsilon.com)
