通过interferoMETER系列，Micro-Epsilon为工业距离和厚度测量提供了创新的白光干涉仪，具有最高的精度。与激光干涉仪相比，绝对距离测量也可以在信号跳跃期间进行。可实现低至皮米级的分辨率。三种新型传感器可用于特殊环境中的高性能测量。
干涉仪 IMP-DS0.5/90/VAC90°
适用于狭小安装空间
的测距传感器 测量范围 1.5 mm
线性误差 ±10 nm（取决于控制器）
径向光束出射
设计用于高达 UHV 的真空应用
干涉仪 IMP-DS19/VAC（001）
具有最高温度稳定性
的传感器 测量范围 2.1 mm
线性误差 ±10 nm（取决于控制器）
传感器材料由殷钢制成
专为高达 UHV 的真空应用而设计
干涉仪 IMP-DS1/VAC
微型测距传感器 ø4 mm 测量范围 1.1 mm
线性误差 ±10 nm（取决于控制器）
集成电缆，易于安装
专为高达 UHV 的真空应用而设计
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用于非接触式距离和厚度测量的高精度白光干涉仪 (micro-epsilon.com)
