电容位移传感器|电容式位移传感器-德国米铱（中国）精密测量

　　米铱Micro-Epsilon电容系列精密位移
传感器的测量，建立在理想化平板式电容
原理的基础上，因此对所有导电材料无需
特别的线性校准，即可得到高精度的测量
结果。通过线性校准后，也可用于对半导
体和绝缘体材料的测量。

　　米铱capaNCDT系列电容式位移传感器的
突出优点，是它的超高分辨率和稳定性。其
高超的机械加工精度及完美的信号屏蔽措施
使capaNCDT达到纳米级的精度．

传感器 & 测量系统

capaNCDT 6019
单通道位移传感器系列

capaNCDT 6100
单通道位移传感器系列

capaNCDT 620
高精度单通道位移传感
器系列

capaNCDT 600
高精度多通道位移测量
系统

传感器探头构成理想电
容的一个电极，被测物
体构成另一个电极。

capaNCDT 6019

迷你型单通道集成式位移传感器系列
线性量程：0.2/0.5/1/2/3/5/10 mm
绝对误差：≤±1% FSO
分辨率：0.1% FSO
频率响应： 500 Hz (-3dB)
传感器适用温度：+10℃ 至 50℃
长期稳定性：≤0.05 % FSO/月

capaNCDT 6100

高精度单通道位移传感器系列
线性量程：0.05/0.2/0.5/1/2/3/5/10 mm
绝对误差：≤±0.1 % FSO
分辨率：< 0.015 % FSO
频率响应：10Hz/2kHz (-3dB)(可切换）
探头适用温度：- 50℃ 至 +150℃
温度稳定性：<0.01%FSO/℃

capaNCDT 620/621

高精度单通道位移传感器系列
线性量程：0.05/0.2/0.5/1/2/3/5/10 mm
绝对误差：≤±0.2 % FSO
分辨率：可至 0.004 % FSO
频率响应：6 kHz (-3dB)
探头适用温度：- 50℃ 至 +200℃
温度稳定性：±0.03 至 ±0.17mm/℃

capaNCDT 600

高精度组合式多通道位移测量系统
线性量程：0.05/0.2/0.5/1/2/3/5/10 mm
绝对误差：≤±0.2 % FSO
分辨率：可至 0.004 % FSO
频率响应：6 kHz (-3dB)
探头适用温度：- 50℃ 至 +200℃
温度稳定性：±0.03 至 ±0.17mm/℃

电话：010-58772561/62/63 传真：010-58772564 E-mail:info@micro-epsilon.com.cn

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