电容传感器可以使用新的安装框架精确地相互对齐。这一原理可实现高度精确的测量结果,因为传感器正好位于一个轴上,因此排列一致。安装框架非常紧凑,适合空间有限的环境。
一个安装框架最多可连接六个传感器。由于两个传感器分别成像一个测量点,因此可以在不同点同时进行三个测量。安装框架专为特殊要求而设计。它既具有真空兼容性,又在高达 100 °C 的温度下非常稳定。 因此,电容安装框架还用于高精度应用,例如半导体行业用于晶圆的高分辨率厚度测量,电池行业用于电池和隔膜的双面厚度测量。
优势一览
专为高精度应用而设计
千分尺精度
同时测量多达三个测量点
高达 100 °C 的高温稳定性
可校准设计,精度更高
紧凑型设计
真空适用性