压电陶瓷驱动微动台位移反馈-capa

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发布日期：2014-09-15 浏览： 次

压电陶瓷驱动定位工作台, 以压电陶瓷致动器为核心驱动元件，运动范围在几十微米到几百微米，运动分辨率和重复定位精度在纳米级，可应用于光学调整、光纤作业、MEMS技术、生物工程、超精密加工、生物工程、超精密加工、医疗科学、集成电路制造、数码扩印等领域的精密定位、精密调整及检测等方面。采用德国米铱公司提供的精密电容位移传感器，可以实现纳米级分辨率的位移反馈。