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十年一剑，上海微电子光刻机项目

互联网时代的繁荣，从技术层面看，靠的是一块块刻着细密电路的半导体芯片，而将蕴藏着智能的集成电路刻上硅片的，则是光刻机。芯片越做越小，用来雕刻芯片的光刻机则越来越复杂，成为集光机电等多学科尖端技术于一体的“智能制造业中的珠穆朗玛峰”。[详细]
德国米铱公司采用最新技术的电容传感器介绍

德国米铱公司最新推出的capaNCDT CSH-FL（复合型）系列电容式传感器采用了全新技术。该系列传感器采用特殊的陶瓷材料作为基材，使其温度稳定性得到了极大提高。传感器还采用了特殊几何设计，使生产高度仅4mm的电容传感器成为可能。这种扁平形状的电容传感器被称做capaNCDT CSH-FL. 通过传感器上两个通孔，可以轻松快捷地将传感器固定。圆柱形传感器则可以通过夹子进行安装。这种电容传感器可以被应用于超真空(UHV)和洁净室。而传感器端的集成电缆，可以带来两个好处：所需安装空间明显减小；诸如电缆松动等由于使用插头带来的问题也可以避免。采用新技术以及模块化传感器设计，使德国米铱公司能够快速响应客户需求。CSH系列电容传感器目前量程可以达到0.2mm到1.2mm, 而更多量程正在开发中。CSH复合型电容传感器是米铱公司产品系列的又一个有益补充。[详细]

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